A级黄色片BROOKS 質量流量控制器 GP200系列 - 流量計

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流量計(ji)

BROOKS 質量流(liu)量控制(zhi)器 GP200系列(lie)

湖北我(wo)们誠信(xin)銷售BROOKS控(kong)制器，BROOKS電(dian)源，BROOKS流量(liang)計，BROOKS壓力(li)計

品　　牌(pai)：: BROOKS
産　　地：: 美(mei)國
型　　号(hao)：: BROOKS 質量流(liu)量控制(zhi)器 GP200系列(lie)
技術資(zi)料：: 數據(ju)資料下(xia)載中心(xin)

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BROOKS 質量(liang)流量控(kong)制器 GP200系(xi)列簡介(jie)
所有的(de)表現。沒(mei)有任何(he)限制。
GP200 系(xi)列是第(di)一款完(wan)全不敏(min)感的基(ji)于壓力(li)的質量(liang)流量控(kong)‼️制器 (P-MFC)，專(zhuan)為半導(dao)體制造(zao)中的先(xian)進蝕刻(ke)和沉積(ji)工藝而(er)設計。
GP200 系(xi)列 P-MFC 采用(yong)技術架(jia)構，克服(fu)了傳統(tong) P-MFC 的局限(xian)性，即使(shi)在輸送(song)低蒸‼️氣(qi)壓工藝(yi)氣體時(shi)也能提(ti)供最精(jing)确的工(gong)藝氣體(ti)輸♊送。它(ta)包括幾(ji)個✊獨特(te)的設計(ji)方面，包(bao)括與下(xia)遊閥🈲門(men)架構相(xiang)結合的(de)集成壓(ya)差傳感(gan)器，可在(zai)行業中(zhong)最廣泛(fan)的操作(zuo)條件下(xia)實現最(zui)精确的(de)工藝氣(qi)㊙️體輸送(song)。
由于 GP200 系(xi)列支持(chi)如此廣(guang)泛的工(gong)藝條件(jian)，它可以(yi)用作許(xu)多🌏傳統(tong) P-MFC 和熱 MFC 的(de)直接替(ti)代和升(sheng)級。它降(jiang)低了氣(qi)體輸送(song)系統📧的(de)複雜性(xing)和擁有(you)成本，因(yin)為它消(xiao)除了對(dui)壓力調(diao)節器和(he)傳感器(qi)等組件(jian)的需求(qiu)。

特征
真(zhen)正的差(cha)壓測量(liang)
降低入(ru)口壓力(li)運行
下(xia)遊閥門(men)結構
匹(pi)配的瞬(shun)态響應(ying)
零洩漏(lou)控制閥(fa)
MultiFlo TM技術提(ti)供了無(wu)與倫比(bi)的靈活(huo)性——一個(ge)設備可(ke)以針對(dui)數🔞千種(zhong)♋不同的(de)氣體和(he)流量範(fan)圍配置(zhi)進行編(bian)程，而無(wu)需從氣(qi)體管線(xian)☔中移😍除(chu) MFC 或影響(xiang)精度
本(ben)地顯示(shi)顯示流(liu)量、溫度(du)、壓力和(he)網絡地(di)址
DeviceNet TM、EtherCAT®、RS-485 L-Protocol 和模(mo)拟接口(kou)
好處
通(tong)過消除(chu)匹配和(he)補償兩(liang)個獨立(li)壓力傳(chuan)感器的(de)要求，GP200 差(cha)壓技術(shu)降低了(le)測量不(bu)确定性(xing)，從而提(ti)高了準(zhun)确性㊙️、可(ke)重複性(xing)和漂移(yi)性能。
由(you)于專為(wei)低壓差(cha)測量而(er)優化的(de) GP200 差壓傳(chuan)感器，現(xian)在使用(yong) P-MFC 可以在(zai)較低的(de)入口壓(ya)力下實(shi)現更安(an)全的晶(jing)圓廠操(cao)作。
下遊(you)閥門結(jie)構确保(bao)精度獨(du)立于下(xia)遊壓力(li)，使流量(liang)♋輸送到(dao)高達 1200 Torr 的(de)壓力。快(kuai)速關閉(bi)閥門解(jie)決了上(shang)遊 MFC 閥門(men)設計中(zhong)出現❗的(de)非生産(chan)♻️性配方(fang)等待時(shi)間或“尾(wei)部效應(ying)”，這些閥(fa)門㊙️需要(yao)額外的(de)時🔱間來(lai)排出其(qi)内部氣(qi)體體積(ji)。
超快、高(gao)度可重(zhong)複的上(shang)升和下(xia)降流動(dong)穩定時(shi)間可🌈在(zai)先進的(de)高循環(huan)沉積和(he)蝕刻工(gong)藝中實(shi)現更嚴(yan)格🌏的工(gong)藝控制(zhi)。
閥門關(guan)閉性能(neng)提高 100 倍(bei)
使用 MultiFlo TM，MFC 滿(man)量程流(liu)量範圍(wei)通常可(ke)以按 3:1 的(de)系數重(zhong)新按比(bi)例縮💘小(xiao)，而🥵不會(hui)影響精(jing)度、量程(cheng)比或規(gui)格洩漏(lou)，以實現(xian)最佳工(gong)藝和庫(ku)存靈活(huo)性
方便(bian)的用戶(hu)顯示和(he)獨立的(de)診斷/服(fu)務端口(kou)有助于(yu)設備安(an)裝、監控(kong)和故障(zhang)排除
主(zhu)要應用(yong)
半導體(ti)制造
蝕(shi)刻
化學(xue)氣相沉(chen)積 (CVD)
需要(yao)高純度(du)全金屬(shu)流路的(de)氣流控(kong)制應用(yong)

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