BROOKS 質量流量控制器 GP200系列 - 流量計 - 湖北嘉兴亚丰机械制造有限公司(急速版)

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BROOKS 質量(liang)流量控(kòng)制器 GP200系(xì)列簡介(jiè)
所有的(de)表現。沒(mei)有任何(hé)限制。
GP200 系(xì)列是第(dì)一款完(wan)全不敏(min)感的基(ji)于壓力(lì)的質量(liang)流量控(kong)制器 (P-MFC)，專(zhuān)為半導(dao)體制造(zao)中的先(xian)進蝕刻(ke)和沉積(jī)工藝而(er)設計。
GP200 系(xi)列 P-MFC 采用(yòng)技術架(jia)構，克服(fu)了傳統(tong) P-MFC 的局限(xian)性，即使(shǐ)在輸🚩送(song)低蒸氣(qì)😄壓工藝(yì)氣體時(shí)也能提(ti)供最精(jīng)确的工(gōng)藝氣體(ti)輸送。它(ta)🌈包括幾(ji)個獨特(te)的設計(ji)方面，包(bao)括與下(xia)遊閥門(men)架構相(xiàng)結合🙇‍♀️的(de)集成📱壓(ya)差傳感(gan)器，可在(zai)行業中(zhong)最廣泛(fan)的操作(zuò)條件下(xià)實現最(zuì)精确的(de)工藝氣(qì)體輸送(song)。
由于 GP200 系(xi)列支持(chi)如此廣(guǎng)泛的工(gong)藝條件(jiàn)，它可以(yi)用作許(xu)🔞多傳統(tong) P-MFC 和😘熱 MFC 的(de)直接替(ti)代和升(shēng)級。它降(jiàng)低了氣(qì)體輸送(sòng)系統🧡的(de)複雜性(xing)和擁有(you)成本，因(yīn)為它消(xiao)除了對(duì)🔅壓力調(diao)節器和(hé)♊傳感器(qì)等組件(jian)的需求(qiu)。

特征
真(zhen)正的差(chà)壓測量(liàng)
降低入(rù)口壓力(lì)運行
下(xia)遊閥門(mén)結構
匹(pi)配的瞬(shun)态響應(ying)
零洩漏(lòu)控制閥(fá)
MultiFlo TM技術提(ti)供了無(wú)與倫比(bǐ)的靈活(huó)性——一個(ge)設備可(kě)以針對(dui)數千🔞種(zhǒng)🌈不同的(de)氣體和(he)流量範(fan)圍配置(zhi)進行編(biān)程，而無(wú)💯需從氣(qi)體管線(xian)中移除(chú) MFC 或影響(xiǎng)精度
本(běn)地顯示(shì)顯示流(liu)量、溫度(du)、壓力和(hé)網絡地(di)址
DeviceNet TM、EtherCAT®、RS-485 L-Protocol 和模(mo)拟接口(kǒu)
好處
通(tōng)過消除(chu)匹配和(he)補償兩(liang)個獨立(lì)壓力傳(chuan)感器的(de)要求，GP200 差(cha)壓✂️技術(shù)降低了(le)測量不(bú)确定性(xing)，從而提(tí)高了準(zhun)确性📧、可(ke)重😘複性(xìng)和漂移(yí)性能。
由(yóu)于專為(wei)低壓差(chà)測量而(ér)優化的(de) GP200 差壓傳(chuan)感器，現(xiàn)在使用(yong) P-MFC 可以在(zài)☁️較低的(de)入口壓(ya)力下實(shí)現更安(ān)全的晶(jīng)圓廠操(cāo)作。
下遊(yóu)閥門結(jié)構确保(bao)精度獨(du)立于下(xià)遊壓力(lì)，使流量(liàng)輸送❄️到(dao)高達 1200 Torr 的(de)壓力。快(kuai)速關閉(bì)閥門解(jie)決了上(shàng)遊 MFC 閥🌏門(mén)設計中(zhōng)出現的(de)非生産(chan)性配方(fāng)等待時(shi)間或“尾(wěi)部效應(ying)”，這些閥(fa)門需要(yào)額外的(de)時間來(lái)排出其(qí)内部氣(qi)🌈體體積(jī)。
超快、高(gao)度可重(zhòng)複的上(shàng)升和下(xià)降流動(dong)穩定時(shí)間可在(zai)先進的(de)高💃🏻循環(huan)沉積和(hé)蝕刻工(gong)藝中實(shi)現更嚴(yán)格的工(gōng)藝控制(zhì)。
閥門關(guan)閉性能(néng)提高 100 倍(bèi)
使用 MultiFlo TM，MFC 滿(mǎn)量程流(liu)量範圍(wei)通常可(kě)以按 3:1 的(de)系數重(zhong)新按比(bǐ)⭐例縮小(xiǎo)，而不會(huì)影響精(jīng)度、量程(cheng)比或規(guī)格洩漏(lòu)，以實現(xiàn)最佳工(gōng)藝和庫(ku)存靈活(huó)性
方便(biàn)的用戶(hù)顯示和(hé)獨立的(de)診斷/服(fu)務端口(kou)有助于(yu)設備安(an)裝、監控(kòng)和故障(zhàng)排除
主(zhu)要應用(yòng)
半導體(tǐ)制造
蝕(shi)刻
化學(xué)氣相沉(chén)積 (CVD)
需要(yao)高純度(dù)全金屬(shu)流路的(de)氣流控(kòng)制應用(yòng)

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